1. 순결
의 순도
티타늄 대상 스퍼터 코팅의 성능에 큰 영향을 미칩니다.티타늄 타겟의 순도가 높을수록 스퍼터링된 티타늄 필름의 불순물 원소 입자가 적어 내식성 및 전기적 및 광학적 특성이 향상되는 등 PVD 코팅 성능이 향상됩니다.그러나 실제 응용 분야에서 다양한 용도의 티타늄 타겟은 순도에 대한 요구 사항이 다릅니다.타겟 재료는 스퍼터링에서 음극 소스로 사용되며 재료의 불순물 원소 및 다공성 개재물은 증착된 필름의 주요 오염원입니다.기공 내포물은 잉곳의 비파괴 검사 과정에서 기본적으로 제거됩니다.제거되지 않은 기공 내포물은 스퍼터링 공정 중에 방전을 일으켜 필름의 품질에 영향을 미칩니다.불순물 원소의 함량은 전체 원소 분석의 테스트 결과에만 반영될 수 있습니다., 총 불순물 함량이 낮을수록 티타늄 타겟의 순도가 높아집니다.
2. 평균 입도
일반적으로 티타늄 타겟은 다결정 구조를 가지며 입자 크기는 마이크로미터에서 밀리미터에 이릅니다.미세 입자 타겟의 스퍼터링 속도는 거친 타겟의 스퍼터링 속도보다 빠릅니다.샷 증착 필름의 두께 분포도 더 균일합니다.이 연구는 티타늄 타겟의 입자 크기가 100μm 미만으로 제어되고 입자 크기의 편차가 20% 이내로 유지되면 스퍼터링된 필름의 품질이 크게 향상될 수 있음을 발견했습니다.
3. 결정 방향
티타늄은 밀집된 육각형 구조를 가지고 있습니다.티타늄 타겟의 원자는 스퍼터링 시 원자의 육방 밀집 방향을 따라 쉽게 스퍼터링되므로 더 높은 스퍼터링 속도를 달성하기 위해 방법을 변경하여 타겟의 결정 구조를 변경할 수 있습니다.스퍼터링 속도를 높이기 위해.티타늄 타겟의 결정학적 방향 또한 스퍼터링된 필름의 두께 균일성에 큰 영향을 미칩니다.
PVD 코팅
4. 구조적 균일성
구조적 균일성 또한 대상의 품질을 검사하는 중요한 지표 중 하나입니다.티타늄 타겟의 경우 타겟의 스퍼터링 평면뿐만 아니라 스퍼터링 평면의 법선 방향 구성, 결정립 방향 및 평균 결정립 크기 균일성이 필요합니다.이러한 방식으로만 티타늄 타겟은 사용 수명 동안 균일한 두께, 신뢰할 수 있는 품질 및 일관된 입자 크기를 가진 티타늄 필름을 동시에 얻을 수 있습니다.
5. 기하학과 크기
가공 크기, 표면 평탄도, 거칠기 등과 같은 가공 정확도 및 가공 품질에 주로 반영됩니다. 설치 구멍의 각도 편차가 너무 크면 올바르게 설치할 수 없습니다.두께가 너무 작으면 대상의 수명에 영향을 미칩니다.실링 표면과 실링 홈이 너무 거칠면 타겟 설치 후 진공 상태에서 문제가 발생하여 심각하게 누수가 발생할 수 있습니다.표면 거칠기 처리는 대상 표면을 풍부한 융기 팁으로 덮을 수 있습니다.팁 효과의 작용으로 이러한 융기 팁의 전위가 크게 증가하여 유전 방전을 파괴하지만 과도하게 큰 범프는 스퍼터링의 품질과 안정성에 해 롭습니다.
